近日，三英精控（天津）仪器设备有限公司（以下简称“三英精控”）亮相第十届（2022年）中国半导体设备年会暨半导体设备与核心部件展示会（CSEAC），展出了纳米位移电容传感器、高速偏摆镜、大行程高精度运动控制平台、纳米和亚纳米运动控制平台、精密运动控制集成系统等系列产品，吸引了众多专家、客户驻足观看与咨询洽谈。
“三英精控聚焦半导体行业，针对我国近年来半导体行业装备自主开发生产中卡脖子问题，提出了一系列解决方案。例如电容位移传感器是制造光刻机的核心器件，三英精控自主研发的纳米位移电容传感器具有结构简单、非接触、频响宽等特点，已良好地应用于光刻机物镜调整系统。另外，三英精控针对半导体装备研发生产了纳米级定位平台系列产品，可广泛地应用到半导体加工与检测设备、芯片封装等设备上。”三英精控负责人表示。
三英精控位于武清开发区创业总部基地，是一家专业从事精密运动控制技术和产品开发，致力于为科学研究、创新研发及高端仪器、设备的制造等提供系统技术解决方案的科技公司。该公司拥有集精密传感、精密驱动、精密机械、精密控制、精密集成等各领域的技术于一体的核心技术，在纳米运动控制技术方面具有先进技术和丰富经验，且具有该类技术自主知识产权。目前，已与多家科研机构和企业开展合作。未来，三英精控将持续秉承“高端创新、精益制造”的宗旨，以“打造中国高端制造的国际品牌”为目标，为中国制造装备产业升级、转型提供关键技术，助力“中国制造2025”。
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